仪器名称
高真空电子束热蒸发镀膜机
仪器型号
SYRUSpro1110
技术指标
真空室尺寸1110mm，极限真空5×10-5Pa，
APSpro等离子体源，光控系统测量精度优于0.002%
主要功能
电子束加热法和热蒸发法沉积薄膜
存放地点
天津理工大学21号楼111室
离子束溅射镀膜机
Spector
真空室尺寸1000mm，极限真空1.07×10-5Pa，
双13.56MHz射频离子源，25mm环带均匀性≤0.1%
离子束溅射法沉积薄膜
