仪器英文名      

Ultrahigh-Resolution Scanning Electron Microscope with FEG

型号      

Verios 460L

制造商      

FEI                                                                            

购买年份      

2015

仪器负责人信息      

王磊

Tel: 022-60216409

E-Mail: wl00909004@163.com

安放地点      

12号教学楼一层      

技术指标      

1、分辨率：

  二次电子图像：0.6 nm (15 kV)，0.7 nm  (1 kV)

  背散射电子像：1.5 nm (15 kV)

2、着陆电压范围为20V ～ 30 kV，束流范围为0.8 pA ～ 100 nA（15 kV）、0.8 pA ～ 100 nA（2 kV）、0.8 pA ～ 100 nA（1 kV）

3、具备STEM探头

4、配备有防样品被空气氧化的传输装置

主要功能      

1、二次电子、背散射电子成像      

2、可以同时获取BF、DF以及HAADF图像      

3、EDS能谱分析（点、线、面）      

应用范围      

用于材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域