仪器中文名

环境场发射扫描电镜

仪器英文名

Environmental Scanning Electron Microscope with FEG  

型号

Quanta FEG 250                                                                              

制造商

FEI                                                                                

购买年份

2015                                                                              

仪器工程师

刘景

Tel: 022-60216409      

E-Mail: 18222861533@163.com

安放地点

12号教学楼一层

技术指标

1、分辨率：

  二次电子图像：高真空模式1.0 nm @ 30 kV，3.0 nm @ 1 kV

  背散射电子像：高真空模式2.5 nm @ 30 kV，低真空及环境真空模
  式1.4 nm @ 30 kV

2、加速电压范围为200 V ～ 30 kV，束流范围为0.8 pA ～ 100 nA（15kV）、0.8 pA ～ 100 nA（2 kV）、0.8 pA ～ 100 nA（1 kV）

3、可通气体包括：Air、H₂O、N₂、CO₂、NO₂、Ar、C_XH_Y等

主要功能

1、二次电子、背散射电子成像。

2、EDS能谱分析（点、线、面）。

3、气体环境实验。

应用范围

用于材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域